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气浮转台是一种什么样的设备?

来源: 时间:2021-11-24 10:35:47 浏览次数:

事实上,在科研和生产中都能见到一些专用的气浮台设备,这些专用设备在使用过程中能有效地保证其精确度,与机械式转台相比,气浮台作用更大,能更好的保证精度,但见过许多设备之后,大概不知道它到底有什么优点,我想看看这个气浮转台是什么?

事实上,在科研和生产中都能见到一些专 用的气浮台设备,这些专 用设备在使用过程中能有效地保证其精 确度,与机械式转台相比,气浮台作用更大,能更好的保证精度,但见过许多设备之后,大概不知道它到底有什么优点,我想看看这个气浮转台是什么?

气浮转台是利用轴承腔内空气压力导入,使转轴悬浮于空气中,并能平滑旋转,使转轴在空气中悬浮,通过轴承腔引入空气压力,使导流间隙特别小,保证转轴悬浮,从而获得较高的轴向和径向跳动误差。高速、高精度、无摩擦、无磨损、不润滑、速度稳定、无噪音。气浮转盘具有许多优点,越来越多地使用气浮式轴承来代替传统的机械轴承。

气浮转台作为一种典型的超精密机械,从诞生起就受到了人们的广泛关注,其中包括微光刻技术、数控加工、生命科技、纳米面形测量,高精密机床研发等领域,是超精密定位、探测及精 确移动载体平台,为超精密加工工艺技术的研究开发拓展了一个领域,可以很好的解决高精度零件的加工、检验等问题。

具有多年的精密机械设计、加工、装配等专 业经验,瑞邦精控从设计上研究高压气体流动规律、压力分布、转台精度分离方法等问题。从压力分布、气源压力、节流器、均压槽深等方面,确定了高压气膜刚度下各参数的范围。在气浮台研制中的关键技术突破,为高精度零件加工、检测、超精密加工工具的开发奠定了技术基础。完成了气浮平台的设计与制造,并在100nm范围内实现了1角秒的定位精度。

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